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CVD氣相沉積爐
 

CVD氣相沉積爐

化學(xué)氣相沉積爐應用領(lǐng)域

化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學(xué)氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。

化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品規格

產(chǎn)品型號/規格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

裝載重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

最高溫度()

1500

1500

1500

1500

1500

1500

溫度均勻性()

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

加熱功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

極限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

壓升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上化學(xué)氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進(jìn)行調整,不作為驗收依據,具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。

化學(xué)氣相沉積爐主要配置

爐門(mén):絲杠升降//液壓升降/手動(dòng)升降;手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊

爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復合氈/CFC

加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統:體積/質(zhì)量流量計;手動(dòng)閥/自動(dòng)閥;進(jìn)口/國產(chǎn)

真空泵和真空計---進(jìn)口/國產(chǎn)

PLC:歐姆龍/西門(mén)子

控溫儀表:日本島電/英國歐陸

熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀:無(wú)紙記錄儀/有紙記錄儀;進(jìn)口/國產(chǎn)

人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機

電器元件:正泰/施耐德/西門(mén)子

料車(chē):滾道式/叉車(chē)式/疊加式超長(cháng)傳輸料車(chē)

化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)特征

本化學(xué)氣相沉積爐最大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿(mǎn)足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求;

本化學(xué)氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

本化學(xué)氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

本化學(xué)氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;

本化學(xué)氣相沉積爐對炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進(jìn)行有效處理。

 

 

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